KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。

MU-X系列

Power Consumption 0.35kW. Extreamly Small Footprint. Roots dry pump achieved smallest energy consumption & footprint in the category. Applicable 02 for various tools. Best for clean pumping such as L/L and transfer chamber, etc.

规格。/产品	MU100X	MU180X	MU300X	MU600X	MU1218X	MU20N18X
*值抽速 [升/分钟]1	1,660	3,000	5,000	10,000	20,000	30,000
极限压强 [啪]*1	1.5		0.5
电源电压 (50/60赫兹)	三相交流200至220伏*2
功率消耗 [千瓦]*3	0.35	0.5	0.55	0.6	0.9	1.0
尺寸[毫米]长×宽×高*4	450×230×275	550×280×299	450×230×520	530×230×520	870×380×751	1000×450×950
质量[千克]	60	95	100	120	270	410

*1)不带N2清洗。*2)如需其他电压选项，请联系我们。*3)大约。极限压力下的值。*4)包装尺寸。
*联系我们了解国际标准合规性。规格。产品名称如有变更，恕不另行通知。
*关于大容量泵，请联系我们。

S-P Curve

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真空泵

KASHIYAMA工业株式会社，多年来致力于真空技术的研究，不断开发进取，在半导体制造领域和高科技行业中拥有极高的信誉。尤其在半导体制造领域，获得了客户的高度评价与信赖。

MU-X系列

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S-P曲线